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日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

簡(jiǎn)要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
“Model：UNECS" 是一種光譜橢偏儀，可快速準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測(cè)量。
3 種型號(hào)可用于 Φ150、200 和 300 mm 樣品。自動(dòng)映射 R-θ 載物臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能可以測(cè)量整個(gè)樣品表面的薄膜厚度，并通過彩圖顯示薄膜厚度分布。

更新時(shí)間：2025-06-26

訪問量：17

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號(hào)：UNECS-1500A

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產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀

特征

高速測(cè)量：實(shí)現(xiàn)快照測(cè)量方式，高速測(cè)量每點(diǎn) 20ms。

可見光譜范圍：可以選擇光譜波長(zhǎng)范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。

緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個(gè)沒有任何旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外，無需任何定期維護(hù)。

強(qiáng)大的產(chǎn)品線：擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品線，包括便攜式、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)型、內(nèi)置式和大型基板型等。

應(yīng)用

測(cè)量透明或半透明的薄膜厚度（D）、反射指數(shù) （N）和消光系數(shù) （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等）

規(guī)格

型	1500 安培	2000 安培	3000 安培
波長(zhǎng)范圍	530 至 750 納米或 380 至 760 納米
光斑尺寸	Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角	70°
薄膜厚度可重復(fù)性	1σ = 0.1納米
膜厚測(cè)量范圍	1納米~2微米
測(cè)量時(shí)間	采樣時(shí)間： 20ms 至 3000ms 分析時(shí)間： 300ms
樣品臺(tái)	Φ150毫米	Φ200毫米	Φ300毫米
最大自動(dòng)可測(cè)量積分	200點(diǎn)	200點(diǎn)	2,000點(diǎn)
控制 PC	筆記本電腦，包括分析軟件
配置	測(cè)量單位?？刂茊卧?。控制 PC（筆記本電腦型）和作手冊(cè) （CD）。